Научно-исследовательское учреждение

Институт прикладных физических проблем имени А.Н. Севченко

Белорусского государственного университета

en

Важнейшие результаты и разработки

За время функционирования лаборатории её сотрудниками защищено 5 докторских и более 20 кандидатских диссертаций. В 1998 г. проф. Комарову Ф.Ф. присуждена Государственная премия Республики Беларусь в области науки и техники. В настоящее время лаборатория элионики обеспечивает современную научно-техническую базу и интеллектуальное сопровождение обучения студентов старших курсов, магистрантов и аспирантов кафедры физической электроники и нанотехнологий факультета радиофизики и компьютерных технологий БГУ. С 1995 г. является организатором Международных конференций «Взаимодействие излучений с твердым телом», проводимых каждый нечетный год.

Лаборатория являлась разработчиком теоретического базиса и программного комплекса для описания процессов ионно-лучевого легирования в микроэлектронике, который был внедрен в отрасли в рамках Министерства электронной промышленности СССР. Разработаны пучковые методы получения сверхтвердых и ультратвердых, износо− и коррозионностойких, и каталитически активных материалов и покрытий. Впервые в мире её сотрудниками предложены и разработаны физические принципы управления жесткими рентгеновскими и гамма−квантами, созданы элементы и системы отражательной рентгеновской оптики на основе многослойных периодических структур. В последние годы в лаборатории развивается новое направление по разработке элементов рентгеновской оптики, которые используются для фокусировки синхротронного излучения и для получения изображения объектов. Эти работы проводятся совместно со специалистами ведущих синхротронных центров мира: SSRL (США, Стэнфорд), SPring 8 (Японии), ANKA (Германии, Карлсруэ), SSRL (Китай, Шанхай).

Сотрудниками лаборатории внедрено в народное хозяйство более 40 научно−технических разработок. Для обеспечения современной научно-технической базы создан уникальный исследовательский комплекс, не имеющий аналогов в Республике Беларусь, включающий: 2 электростатических ускорителя ионов для элементного и структурного анализа и модификации материалов (энергии от 100 кэВ до 2,5 МэВ), два трансмиссионных электронных микроскопа высокого разрешения, системы препарирования объектов для просвечивающей и cross-section микроскопии, растровый электронный микроскоп, комплекс для исследований по рентгеновской оптике и микроскопии и др.

Лаборатория обеспечивает плодотворное международное сотрудничество с Институтом физики твердого тела им. Ф. Шиллера (Германия), университетом им. М. Кюри−Складовской (г. Люблин, Польша), Люблинским техническим университетом, Объединенным Институтом ядерных исследований (Дубна), Стэнфордским университетом (США), Казахским национальным университетом им. аль−Фараби и др. Являлась координирующей ячейкой по ряду программ ГНТП, ГКПНИ и Межвузовских программ фундаментальных исследований. В 2011 – 2013 гг. обеспечивает координацию работ в рамках подпрограммы «Электроника» ГПНИ «Электроника и фотоника». Лабораторией издано 18 монографий, 5 из которых переизданы в США, 2 в Польше, а также около десятка учебных пособий. Подготовлены и защищены докторские и кандидатские диссертации специалистов из Польши, Германии, Вьетнама и Казахстана.

В последние годы разработан и апробирован в условиях серийного производства ряд уникальных технологий:

• формирования межприборной изоляции на микроэлектронных (СВЧ − транзисторы) и оптоэлектронных изделиях (матрицы ИК − детекторов) для полупроводников A3B5 (GaAs, InP) с использованием полиэнергетической ионной имплантации;

• изготовления пластин кремний – на – изоляторе по методу «smart-cut»;

• создания геттерирующих слоев в кремниевых пластинах при производстве СБИС и УБИС;

• изготовления бумаги из углеродных нанотрубок – высокоэффективного материала для защиты от электромагнитного излучения в СВЧ − и радио − диапазонах, а также ИК – диапазона длин волн.

Разработана новая оптика ионных пучков микронных размеров и наноразмеров на капиллярных системах из диэлектрических материалов для установок микроанализа, высоколокальной ионной имплантации и нанолитографии. На базе этой капиллярной оптики предложена и создана система микроанализа биологических и медицинских объектов на воздухе по спектрам ионноиндуцированного рентгеновского излучения (PIXE), в которой конические диэлектрические капилляры обеспечивают фокусировку выходного ионного пучка и дифференциальную откачку в камере ускорителя. Разработан и создан электростатический анализатор энергии ионов, который обладает на порядок более высоким энергетическим разрешением, чем известные поверхностно − барьерные полупроводниковые детекторы. Применение его в неразрушающем микроанализе материалов с помощью метода обратного резерфордовского рассеяния ионов обеспечивает разрешение по глубине 1÷1,5 нм.

Многоэлементные преломляющие рентгеновские линзы

Макет рентгеновского микроскопа