- физика и технологии ионно−лучевой обработки материалов;

- физика взаимодействия излучений с твердым телом;

- технологии микро− и наноэлектроники;

- моделирование технологических процессов микроэлектроники;

- рентгеновская оптика;

- ионная оптика.